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发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH01272165(A) 申请公布日期 1989.10.31
申请号 JP19880101769 申请日期 1988.04.25
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 FUKUHARA SATOSHI
分类号 G01L9/00;G01L9/04;H01L29/84 主分类号 G01L9/00
代理机构 代理人
主权项
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