发明名称 |
PYROELECTRIC COMPOUND THIN FILM ELEMENT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH01272931(A) |
申请公布日期 |
1989.10.31 |
申请号 |
JP19880102130 |
申请日期 |
1988.04.25 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKAYAMA RYOICHI;TOMITA YOSHIHIRO;ABE ATSUSHI |
分类号 |
G01J1/02;C30B29/24;G01J5/02;G01J5/34;H01B3/00;H01B3/12;H01L37/00;H01L37/02 |
主分类号 |
G01J1/02 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|