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发明名称 ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01272042(A) 申请公布日期 1989.10.31
申请号 JP19880096752 申请日期 1988.04.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO AKIO;ISHIZUKA TOSHIHIRO;OZAKI KAZUYUKI;OKUBO KAZUO;HAMA SOICHI
分类号 G01N23/225;G01R31/302;H01J37/244;H01J37/28;H01L21/66 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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