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经营范围
发明名称
FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH01272107(A)
申请公布日期
1989.10.31
申请号
JP19880101765
申请日期
1988.04.25
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
TAKENAKA SATOSHI
分类号
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/324;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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