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发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH01270594(A) 申请公布日期 1989.10.27
申请号 JP19880101028 申请日期 1988.04.22
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 FUJITA KAZUHISA
分类号 C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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