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发明名称 INTERFEROMETRISCHE EINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3812334(A1) 申请公布日期 1989.10.26
申请号 DE19883812334 申请日期 1988.04.14
申请人 HARTMANN & BRAUN AG, 6000 FRANKFURT, DE 发明人 ZOECHBAUER, MICHAEL, DIPL.-PHYS., 6370 OBERURSEL, DE;FABINSKI, WALTER, DIPL.-ING., 6239 KRIFTEL, DE
分类号 G01J3/26;G01N21/31 主分类号 G01J3/26
代理机构 代理人
主权项
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