发明名称 ELECTRON GUN
摘要
申请公布号 JPH01268822(A) 申请公布日期 1989.10.26
申请号 JP19880094444 申请日期 1988.04.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OISHI TAKASHI
分类号 H01L21/203;B01D59/34;C22B9/22 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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