发明名称 MANUFACTURE OF THIN METAL SULFIDE FILM
摘要
申请公布号 JPH01268873(A) 申请公布日期 1989.10.26
申请号 JP19880098664 申请日期 1988.04.21
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HASEGAWA HIROSHI;OKANO KAZUYUKI;ISOZAKI YASUTO;TABATA MUNEHIRO;HAYASHI CHIHARU;NAKANISHI AKIRA
分类号 C03C17/22;C23C18/02;C23C18/12 主分类号 C03C17/22
代理机构 代理人
主权项
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