| 发明名称 |
SILICONE ION BEAM GENERATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01267935(A) |
申请公布日期 |
1989.10.25 |
| 申请号 |
JP19880094480 |
申请日期 |
1988.04.19 |
| 申请人 |
DENKI KAGAKU KOGYO KK |
发明人 |
MORI YOSHIHARU;HAGIWARA HIROTOSHI;TAKAGI AKIRA;FUKUMOTO SADAYOSHI;UENO AKIRA;YAMADA SUZUYA;MUTSUKAWA AKIO |
| 分类号 |
H01J27/20;H01J37/08;H01J37/305 |
主分类号 |
H01J27/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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