Time-current and time-potential measurements for controlling and regulating galvanic copper deposition.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kontrolle und/oder Steuerung galvanischer Kupferabscheidungen aus sauren Kupferbädern durch chronoamperometrische oder chronopotentiometrische Messungen, dadurch gekennzeichnet, daß a) der Strom-Zeit-Verlauf bei Einschaltung eines vorgegebenen Potentials oder b) das Potential bei Einstellung einer vorgegebenen Stromdichte gemessen und eventuelle Abweichungen vom Sollwert durch Änderung der Prozessparameter ausgeglichen werden.