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发明名称 METHOD OF FORMING SUPERCONDUCTIVE THIN FILMS AND SOLUTIONS FOR FORMING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0292967(A3) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 EP19880108423 申请日期 1988.05.26
申请人 TORAY INDUSTRIES, INC. 发明人 NONAKA, TOSHIHISA;KOBAYASHI, KEISUKE;IGAKI, HIROYUKI;MATSUKI, MICHIYASU
分类号 C03C17/25;C04B35/45;C04B41/50;C04B41/87;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C03C17/25
代理机构 代理人
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