发明名称 THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH01268062(A) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 JP19880095527 申请日期 1988.04.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA YASUO;MATSUMARU HARUO;TSUTSUI KEN;YAMAMOTO HIDEAKI;KANEKO YOSHIYUKI
分类号 H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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