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发明名称 FOCUSING SYSTEM OF ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH01267945(A) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 JP19880096082 申请日期 1988.04.19
申请人 JEOL LTD 发明人 NAKANISHI KAZUNARI;TSUNO KATSUSHIGE
分类号 H01J37/141;H01J37/147 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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