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发明名称 ELECTRON-BEAM EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01268027(A) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 JP19880096546 申请日期 1988.04.19
申请人 SONY CORP 发明人 YAGI ATSUO
分类号 H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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