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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH01267944(A) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 JP19880094518 申请日期 1988.04.19
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 MATSUNAGA KOJI;FUKUMARU FUMIO;INAMI HIROSHI;INAI YUTAKA
分类号 H01J27/08;H01J37/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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