发明名称 Anordnung zur elektrolytischen Oxydation von Siliciumscheiben unter Einbau von Dotierungsmitteln
摘要
申请公布号 DE1496883(A1) 申请公布日期 1969.08.14
申请号 DE19651496883 申请日期 1965.09.20
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 EIDENSCHINK,RUDOLF
分类号 H01L21/225;H01L21/316 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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