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经营范围
发明名称
Anordnung zur elektrolytischen Oxydation von Siliciumscheiben unter Einbau von Dotierungsmitteln
摘要
申请公布号
DE1496883(A1)
申请公布日期
1969.08.14
申请号
DE19651496883
申请日期
1965.09.20
申请人
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH
发明人
EIDENSCHINK,RUDOLF
分类号
H01L21/225;H01L21/316
主分类号
H01L21/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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