发明名称 |
SEMICONDUCTOR CRYSTAL PULLING METHOD |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0330189(A3) |
申请公布日期 |
1989.10.25 |
申请号 |
EP19890103115 |
申请日期 |
1989.02.22 |
申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
YAMASHITA, YOUJI C/O PATENT DIVISION;KOJIMA, MASAKATU C/O PATENT DIVISION |
分类号 |
C30B15/02;C30B15/04;C30B15/10;C30B15/12;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/12 |
主分类号 |
C30B15/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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