发明名称 SEMICONDUCTOR CRYSTAL PULLING METHOD
摘要
申请公布号 EP0330189(A3) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 EP19890103115 申请日期 1989.02.22
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 YAMASHITA, YOUJI C/O PATENT DIVISION;KOJIMA, MASAKATU C/O PATENT DIVISION
分类号 C30B15/02;C30B15/04;C30B15/10;C30B15/12;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/12 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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