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发明名称 DEPOSITION OF THIN FILMS
摘要
申请公布号 US3463663(A) 申请公布日期 1969.08.26
申请号 USD3463663 申请日期 1965.05.07
申请人 KENNECOTT COPPER CORP. 发明人 KASTURI L. CHOPRA
分类号 C23C14/24;(IPC1-7):C23C13/02;C23C13/08 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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