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发明名称 PHOTORESIST COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 EP0284868(A3) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 EP19880104019 申请日期 1988.03.14
申请人 GENERAL ELECTRIC COMPANY 发明人 CRIVELLO, JAMES VINCENT;O'BRIEN, MICHAEL JOSEPH;LEE, JULIA LAM
分类号 G03C1/72;C08K5/00;C08L61/04;C08L61/06;G03F7/00;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03C1/72
代理机构 代理人
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