发明名称 Closable container for the transport and the storage of semi-conductor wafers.
摘要 Der verschließbare Behälter zum Transport und zur Lagerung von in Bearbeitungskassetten befindlichen Halbleiterscheiben weist eine Bodenplatte (21), eine Haube (1), Verschlußhebel (50) und ein Dichtungselement (9, 22) auf, das umlaufend zwischen Haube (1) und Bodenplatte (21) vorgesehen ist. Zur Vermeidung von Verunreinigungen der Halbleiterscheiben beim Transport und bei der Lagerung ist der Behälter so beschaffen, daß er partikeldicht ist und selbst nur ein Minimum an Partikeln freisetzt. Die Halbleiterscheibensicherung (31) ist durch Filmgelenke (34,35,36) beweglich und wird beim Öffnen und Schließen des Behälters mechanisch von der Bodenplatte bewegt, wobei keine gleitende Reibung auftritt.
申请公布号 EP0338337(A1) 申请公布日期 1989.10.25
申请号 EP19890106086 申请日期 1989.04.06
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GROHROCK, PETER
分类号 B65D85/86;H01L21/673 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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