摘要 |
Der verschließbare Behälter zum Transport und zur Lagerung von in Bearbeitungskassetten befindlichen Halbleiterscheiben weist eine Bodenplatte (21), eine Haube (1), Verschlußhebel (50) und ein Dichtungselement (9, 22) auf, das umlaufend zwischen Haube (1) und Bodenplatte (21) vorgesehen ist. Zur Vermeidung von Verunreinigungen der Halbleiterscheiben beim Transport und bei der Lagerung ist der Behälter so beschaffen, daß er partikeldicht ist und selbst nur ein Minimum an Partikeln freisetzt. Die Halbleiterscheibensicherung (31) ist durch Filmgelenke (34,35,36) beweglich und wird beim Öffnen und Schließen des Behälters mechanisch von der Bodenplatte bewegt, wobei keine gleitende Reibung auftritt.
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