| 发明名称 |
Verfahren zum Herstellen von duennen Schichten mit bestimmten reproduzierbaren Dickenabmessungen,insbesondere von Duennschichtwiderstaenden mit reproduzierbaren Eigenschaften |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1515308(A1) |
申请公布日期 |
1969.09.11 |
| 申请号 |
DE19661515308 |
申请日期 |
1966.11.12 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
LELAND CASWELL,HOLLIS |
| 分类号 |
C23C14/28;C23C14/35;H01C17/12;H01J37/34;H01J37/36;H01L49/02 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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