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发明名称 Method of forming semiconductor structure isolation regions
摘要
申请公布号 US4876217(A) 申请公布日期 1989.10.24
申请号 US19880173482 申请日期 1988.03.24
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 ZDEBEL, PETER J.
分类号 H01L21/76;H01L21/32;H01L21/762;H01L21/763 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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