发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01265539(A) 申请公布日期 1989.10.23
申请号 JP19880093128 申请日期 1988.04.15
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/31 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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