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发明名称 FREMGANGSMAADE OG APPARAT TIL AFLEJRING AF HALVLEDERMATERIALE AF HOEJ RENHED
摘要
申请公布号 DK155955(C) 申请公布日期 1989.10.23
申请号 DK19830001411 申请日期 1983.03.28
申请人 DYNAMIT NOBEL AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SCANDOLA, PIETRO;AMADUZZI, ROMANO;CURATOLO, LUIGI
分类号 H01L21/205;C01B33/035;C23C16/44;(IPC1-7):C30B25/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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