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发明名称 DIPPING TYPE SUBSTRATE TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01265519(A) 申请公布日期 1989.10.23
申请号 JP19880094292 申请日期 1988.04.15
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 NISHIZAWA HISAO
分类号 B65G49/00;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/304 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
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