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发明名称 Verfahren zum Herstellen von Belichtungsmasken mit hohem Kontrast
摘要
申请公布号 DE1447976(A1) 申请公布日期 1969.10.09
申请号 DE19651447976 申请日期 1965.09.30
申请人 TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGSGESELLSCHAFT MBH 发明人 KLAUS HENNINGS,DR.;HANS-JUERGEN SCHUETZE,DR.
分类号 C23C14/04;G03F1/68 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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