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发明名称 ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH01264222(A) 申请公布日期 1989.10.20
申请号 JP19880091531 申请日期 1988.04.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUOKA GENYA
分类号 H01L21/027;G03F7/20;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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