发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01264241(A) 申请公布日期 1989.10.20
申请号 JP19880091519 申请日期 1988.04.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKUMA NORIYUKI;YOSHIDA IKUO;HONMA YOSHIO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
地址