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发明名称 ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPH01264141(A) 申请公布日期 1989.10.20
申请号 JP19880089852 申请日期 1988.04.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YOSHIDA ZENICHI
分类号 H01J27/06;H01J27/04;H01J37/08 主分类号 H01J27/06
代理机构 代理人
主权项
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