发明名称 METHOD OF FORMING CIRCUIT PATTERN OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH01262693(A) 申请公布日期 1989.10.19
申请号 JP19880092483 申请日期 1988.04.14
申请人 DOWA MINING CO LTD 发明人 ISHIKAWA YUICHI;FUJISAWA HIROKO
分类号 H01L39/24;H05K3/00;H05K3/02 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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