MASKENREPARATUR UNTER VERWENDUNG EINES OPTIMIERTEN FOKUSSIERTEN IONENSTRAHLSYSTEMS,申请号DE19883890362T-传众专利搜索

发明名称	MASKENREPARATUR UNTER VERWENDUNG EINES OPTIMIERTEN FOKUSSIERTEN IONENSTRAHLSYSTEMS
摘要
申请公布号	DE3890362(T1)	申请公布日期	1989.10.19
申请号	DE19883890362T	申请日期	1988.05.10
申请人	MICROBEAM INC., NEWBURY PARK, CALIF., US	发明人	PARKER, NORMAN WILLIAM, WESTLAKE VILLAGE, CALIF., US;ROBINSON, WILLIAM PRESTON, NEWBURY PARK, CALIF., US;LIBERO, ROBERT, THOUSAND OAKS, CALIF., US
分类号	C23C16/44;H01J37/30;H01L21/26;(IPC1-7):H01J37/30	主分类号	C23C16/44
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