| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01262645(A) |
申请公布日期 |
1989.10.19 |
| 申请号 |
JP19880092152 |
申请日期 |
1988.04.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KAWAI MURAJI;WAKAMIYA WATARU;KONO YOSHIO;TANAKA YOSHINORI;AJIKA NATSUO |
| 分类号 |
H01L21/3213;D21H21/14;D21H27/00;D21H27/20;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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