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发明名称 MULTICHANNEL TYPE VACUUM PUMP
摘要
申请公布号 JPH01262399(A) 申请公布日期 1989.10.19
申请号 JP19880087395 申请日期 1988.04.11
申请人 JAPAN ATOM ENERGY RES INST;MITSUBISHI HEAVY IND LTD;MITSUBISHI ATOM POWER IND INC 发明人 ABE TETSUYA;MURAKAMI YOSHIO;HIKITA KAZUO;OSAWA HARUSHIGE;OTANI YUJI;HATA SATOSHI;MATSUOKA FUSATO;IOKI KIMIHIRO
分类号 F04D19/04;F04D29/52 主分类号 F04D19/04
代理机构 代理人
主权项
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