| 发明名称 |
CONVERGENT ION BEAM SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01262636(A) |
申请公布日期 |
1989.10.19 |
| 申请号 |
JP19880092350 |
申请日期 |
1988.04.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP |
发明人 |
KAWAMOTO TOSHIKAZU;SAKAMOTO TAKASHI |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/66;H01L21/82 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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