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发明名称 ARTICLE NAME IDENTIFYING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01262419(A) 申请公布日期 1989.10.19
申请号 JP19880089216 申请日期 1988.04.13
申请人 NEC CORP 发明人 MIYASHITA NORIO
分类号 G01D21/00;G01R31/28;H01L21/66;H05K1/02;H05K13/02 主分类号 G01D21/00
代理机构 代理人
主权项
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