VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERMESSUNG DUENNER DIELEKTRISCHER SCHICHTEN,申请号DE19893908155-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR VERMESSUNG DUENNER DIELEKTRISCHER SCHICHTEN
摘要
申请公布号	DE3908155(A1)	申请公布日期	1989.10.19
申请号	DE19893908155	申请日期	1989.03.13
申请人	NANOMETRICS INC., SUNNYVALE, CALIF., US	发明人	COATES, VINCENT J., PALO ALTO, CALIF., US;LIN, WARREN W., FREMONT, CALIF., US
分类号	G01B11/06	主分类号	G01B11/06
代理机构		代理人
主权项
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