发明名称 X-RAY INSPECTION INSTRUMENT
摘要
申请公布号 JPH01261629(A) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 JP19880090583 申请日期 1988.04.13
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 SASAKI TATSUMI
分类号 G03B42/02 主分类号 G03B42/02
代理机构 代理人
主权项
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