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发明名称 MAGNETRON-CATHODES FOR THE SPUTTERING OF FERROMAGNETIC TARGETS
摘要
申请公布号 EP0144572(B1) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 EP19840110940 申请日期 1984.09.13
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 AICHERT, HANS, DR.-ING.;KUKLA, REINER, DIPL.-PHYSIKER;KIESER, JORG, DR. PHYS.
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
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