| 发明名称 |
ELECTRONIC PARTS CHUCK MECHANISM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH01261900(A) |
申请公布日期 |
1989.10.18 |
| 申请号 |
JP19880089797 |
申请日期 |
1988.04.12 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
MURAKAMI KUNIHIKO;KUWABARA ICHIRO;HIROKAWA HIDEO |
| 分类号 |
G01R31/26;B25J15/08;H01L21/66;H05K13/02;H05K13/04 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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