发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01261856(A) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 JP19880089067 申请日期 1988.04.13
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 NUNOKAWA YASUHIRO;MOCHIZUKI HIROTAKA
分类号 H01L21/761;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/822;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/78 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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