发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH01261846(A) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 JP19880089100 申请日期 1988.04.13
申请人 HITACHI LTD 发明人 IIJIMA IKUMI;NAKAMURA SHIGEYOSHI;YOSHIOKA TAKATOSHI;FUKUI HIROSHI;ONUKI HITOSHI
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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