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发明名称 DEVICE FOR HEATING PLASMA ELECTRON BEAM
摘要
申请公布号 JPH01260792(A) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 JP19880086274 申请日期 1988.04.09
申请人 ARUBATSUKU SEIMAKU KK 发明人 TOKU AKIHIKO
分类号 H05B7/00;C23C14/30;C23C14/32;H01J37/077 主分类号 H05B7/00
代理机构 代理人
主权项
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