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发明名称 VERFAHREN UND ANLAGE ZUR SCHICHTDICKEBESTIMMUNG BEI HALBLEITER-SCHICHTKONSTRUKTIONEN
摘要
申请公布号 DD272695(A1) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 DD19880315090 申请日期 1988.04.26
申请人 MAGYAR TUDOMANYOS AKADEMIA MUESZAKI FIZIKAI KUTATO INTEZETE,HU 发明人 FERENCZI,GYOERGY,HU;ERDELYI,KATALIN,HU;SOMOGYI,MARIA,HU;BODA,JANOS,HU;FUELE,GYOERGY,HU;ASZODI,GABOR,HU
分类号 H01L21/306;G01B7/06;G01N27/42;(IPC1-7):G01B7/06 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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