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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING THIN-FILM INTEGRATED DEVICES
摘要
申请公布号 EP0139764(B1) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 EP19840901397 申请日期 1984.03.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 NOMURA, KOJI;OGAWA, HISAHITO;ABE, ATSUSHI;NITTA, TSUNEHARU
分类号 H01B3/12;H01G4/10;H01L21/314;H01L21/316;H01L27/13;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/786;H05B33/22 主分类号 H01B3/12
代理机构 代理人
主权项
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