PROCESS FOR REMOVING CONTAMINANT FROM HOLES,申请号EP19870103635-传众专利搜索

发明名称	PROCESS FOR REMOVING CONTAMINANT FROM HOLES
摘要
申请公布号	EP0241718(A3)	申请公布日期	1989.10.18
申请号	EP19870103635	申请日期	1987.03.13
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	EGITTO, FRANK DANIEL;EMMI, FRANCIS;MLYNKO, WALTER EUGENE;SUSKO, ROBIN ANNE
分类号	B08B3/08;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H05K3/00;H05K3/08;H05K3/26;H05K3/42;(IPC1-7):H05K3/42	主分类号	B08B3/08
代理机构		代理人
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