发明名称 ELECTRON BEAM SOURCE
摘要
申请公布号 EP0200035(A3) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 EP19860104763 申请日期 1986.04.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CUOMO, JEROME JOHN;KAUFMAN, HAROLD RICHARD;ROSSNAGEL, STEPHEN MARK
分类号 H01J37/077;H01J1/02;(IPC1-7):H01J3/02;H01J37/073 主分类号 H01J37/077
代理机构 代理人
主权项
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