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经营范围
发明名称
ELECTRON BEAM SOURCE
摘要
申请公布号
EP0200035(A3)
申请公布日期
1989.10.18
申请号
EP19860104763
申请日期
1986.04.08
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
CUOMO, JEROME JOHN;KAUFMAN, HAROLD RICHARD;ROSSNAGEL, STEPHEN MARK
分类号
H01J37/077;H01J1/02;(IPC1-7):H01J3/02;H01J37/073
主分类号
H01J37/077
代理机构
代理人
主权项
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