MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING EQUIPMENT THEREFOR,申请号JP19880088261-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING EQUIPMENT THEREFOR
摘要
申请公布号	JPH01260822(A)	申请公布日期	1989.10.18
申请号	JP19880088261	申请日期	1988.04.12
申请人	OKI ELECTRIC IND CO LTD	发明人	MIZOGAMI MORIO
分类号	B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30	主分类号	B05C11/08
代理机构		代理人
主权项
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