发明名称 SUPPLY OF VAPOR GROWTH RAW MATERIAL GAS
摘要
申请公布号 JPH01260814(A) 申请公布日期 1989.10.18
申请号 JP19880089491 申请日期 1988.04.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SUGITA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址