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经营范围
发明名称
ALIGNMENT METHOD FOR REDUCTION PROJECTION TYPE ALIGNER
摘要
申请公布号
EP0182251(B1)
申请公布日期
1989.10.18
申请号
EP19850114364
申请日期
1985.11.12
申请人
HITACHI, LTD.
发明人
NAKATA, TOSHIHIKO;SHIBA, MASATAKA;OSHIDA, YOSHITADA;UTO, SACHIO;YOSHIZAKI, ATSUHIRO
分类号
G03F9/00
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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