发明名称 LIQUID COLLECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01257800(A) 申请公布日期 1989.10.13
申请号 JP19880086734 申请日期 1988.04.08
申请人 TOKYO ELECTRON LTD;TERU KYUSHU KK 发明人 USHIJIMA MITSURU;HIRAKAWA OSAMU
分类号 F04F5/54;B01D19/00 主分类号 F04F5/54
代理机构 代理人
主权项
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